半导体测试解决方案供应商蔚华科技与旗下数位光学品牌南方科技，近日共同推出JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统。该检测系统是专为碳化矽晶圆的缺陷检测而设计，可协助碳化矽晶圆供应商跟使用碳化矽材料制造元件的业者实现100%检测，不仅能节省碳化矽晶圆的成本，还可协助基板跟元件制造商实现更全面的制程分析与控制，进而提高产品良率。…